一台光刻机以1.1亿元金额成功中标：分辨率低于110nm

12月25日消息，国产光刻机的发展一直备受大众关注，其每一步进展都极易引发广泛聚焦。今日，采购网站上已清晰显示上海微电子成功中标光刻机项目的相关信息。

在中国政府采购网上编号为zycgr22011903的采购公告显示，科技部通过单一来源采购方式购置了一台步进扫描式光刻机，该采购项目的中标金额约为1.099亿元，中标供应商为上海微电子公司，所采购货物的型号是SSC800/10。

截至发稿时，这个中标公告还在，但详情页已经无法打开了。

上海微电子的SSC800型号之前没有公布过，有印象的网友还记得前两年网上流传过SSA800的型号，号称是一台28nm光刻机，SSC800的型号跟这个系列有可能是同代技术产品。

不过严格来说28nm光刻机的说法是错误的，至少是不准确的，光刻机一次曝光的分辨率没有这么高，SSC800也是110nm，套刻精度15nm。

2024年9月份，工信部公布过《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》，提到的氟化氩光刻机有2种，光源都是193纳米，但是浸润式的型号分辨率≤65nm，套刻≤8nm，干法型号分辨率≤110nm，套刻精度≤25nm。

这次上海微电子中标的型号，应该属于干法光刻机范畴，并非大家此前预期的那种性能顶尖的产品。